在工业用水中，根据对水的不同要求可按其纯度进行分类。

1.软化水 一般是指将水中的钙离子、镁离子等离子的含量降低或去除至一定程度的水。水在软化过程中，硬度降低，软化水一般广泛用于低压工业锅炉用水。软化方法通常为离子交换法和药剂软化法。

2. 脱盐水（包括一级脱盐与二级脱盐） 一般是指用物理、化学等方法将水中易于去除的强电解质去除至一定程度的水。在除盐过程中亦除去了部分机械杂质和有机物质。脱盐水中的剩余含盐量一般应在1-5mg/L以下，25度时的电导率为1-10μs/cm。常用的脱盐方法有蒸馏、膜分离子、离子交换或几种方法的组合使用。

3.纯水 双称去离子水。一般指用物理、化学的方法将水中易于去除的强电解质去除之外，还将水中难以去除的硅酸及二氧化碳等弱电解质去除至一定程度的水。25度时纯水中的电导率一般为0.1-1μs/cm，剩余含盐量一般应在1mg/L以下。纯水设备的常用方法有离子交换、**、膜分离子等方法。

4.高纯水 又称“超纯水”。一般是指将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至极低程度的水。高纯水中剩余含盐量应在0.1mg/L以下，25度时的电导率在0.1μs/cm以下。

5.理论水 又称理想水，即不含任何杂质的水，这样的水是不存在的。

随着近年来科技的不断发展，各行业对纯水的水质要求也不断提高，以前将电阻率作为**衡量水质纯度的做法已远远不能满足要求了，人们开始对水中阴离子含量、阳离子含量、颗粒数、有机物和**等逐步有了定量的指标和限制。在20世纪70年代中期，微粒、**、二氧化硅、钠和总有机磷这五项指标的确定，才确保了集成电路加工用水的质量。进入80年代，由于集成度的进一步提高，对纯水水质要求尤其是微粒、**更加严格，在此基础上又增加了溶解氧的限制指标。

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