等离子体是第四种物质，其他三种是固态、气态、液态；等离子体是在外部电压达到气体的放电电压时，气体被迅速击穿，包含了电子、离子、原子以及自由基。不会产生二次污染，更换以及维护保养非常便利。

尽管在放电过程中释放的温度非常高，但是等离子的温度却很低，整个环境会出现低温状态。所以又称为低温等离子。等离子废气处理设备低温等离子利用电子、自由基等活性粒子对污染物做降解效果。促使污染物在短时间内分解净化，并且后续的各种反应同步达到降解污染物体的目的。

一般气体的放电过程一定会出现等离子，而这种放电现象就是通过某种机制将多个电子从气体中分离出来，这样就能构成气体媒质，也就是电离气体。等离子废气处理设备加入外电场发生了电离气体，传导电流就这样构成了。这种过程就是气体放电，也是工业废气处理设备的一种技术原理。