光氧催化废气治理技术温和而长效性的分解能力很适合用于解决低浓度的异味分子，达成除臭的效果。传统上一般处理空气污染物质时，常使用活性碳与沸石等具吸附力物质来集中污染物，但吸附剂不容易再生，须不断更新，含高浓度污染物吸附剂更需固定化后掩埋或高温燃烧处理，会产生二次公害与浪费资源等问题。此外，有部分种类的气相污染物，也不易被吸附剂集中吸附，因此，传统处理方式有时会有其限制与困难之处。
　　低温等离子废气处理设备的物理作用表现在具有荷电集尘作用。等离子体中的大量电子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面从而使其荷电，在电场作用下，颗粒污染物被集尘极收集。生物作用表现在具有****之功效。机理为：等离子体中的正负粒子使微生物表面产生的电能剪切力大于其细胞膜表面张力，致使细胞膜遭到破坏而导致微生物死亡。