1、吸附法：
　　活性炭过滤设备的运用较为普遍，具备耗能低、加工工艺完善、去除率高、净化好、易于推广的优势，有非常好的自然环境和经济收益。缺陷是机器设备巨大，步骤繁杂，当有机废气中有胶粒化学物质或别的杂质时，吸附剂易中毒；吸附法主要用以较低浓度的，高通量可挥发性有机化合物（VOCs）的解决。决定吸附法处理VOCs的关键是吸附剂，吸附剂应具备聚集的微小细孔构造、内面积大、吸附特性好、物理性质平稳、不易碎、对空气阻力小等特性，常见的有活性碳、氧化铝、硅胶、人工沸石等。
　　现阶段，大部分选用活性碳，其去除效率高。活性碳有颗粒状和纤维两大类。颗粒活性碳构造出气孔匀称，除小圆孔外，也有10~100nm的中孔和1.5~5um的孔眼，处理汽体从外向里扩散，吸附脱附都比较慢；而化学纤维活性碳直径遍布匀称，直径小且绝大部分是1.5~3nm的微孔，因为小孔都向外，汽体扩散距离短，因此吸附脱附快。
　　2、光分解法：
　　光分解VOCs有二种方式：一种是直接光照在光波长合适时，VOCs分解；另一种是催化剂存在下，阳光照射VOCs使之分解。有研究表明，有机氯化物和氟氯烃在185nm紫外线直射下，二种化学物质都能在非常短的时间内分解，卤代物的溶解速率超过氟氯烃；三氯乙烯几秒内即能转化成氧气、氯气、氟气等。光分解可造成中间物质，可根据氢氧化钠溶液处理或增加停留时间等方式去除。
　　3、等离子分解法：
　　低温等离子体废气处理是运用等离子体分解氯氟烃的技术已到实用阶段，此技术可在短期内开展多次的氯氟烃等汽体处理。此过程选用两个系统，一个系统运用高频率等离子技术极速加温，使温度达到10000℃运用等离子技术的氧化作用与水蒸气接触开展分解的放水系统；第二个系统是将高溫分解的排气急冷到80℃下的排放系统。该系件是由氯氟烃和水蒸气的供给设备、等离子体发生装置、反应炉、制冷罐及排水处理系统等组成。