制药、印染、制造、化工、化纤等行业在运作过程中会产生大量挥发性污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧法等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。
　　低温等离子废气处理设备已经还广泛的应用于环境保护、包装、纺织、塑料制品、汽车制造、电子设备制造、家电制造、计算机制造、手机制造、生物材料、卫生材料、器皿、、环保设备、石油气管道、供暖管道、化工子、半导体、航空航天等行业中。
　　低温等离子废气处理设备工艺概述
　　低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
　　DBD等离子体反应区富含的物质，如电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较量的物质发生反应，使污染物质在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到讲解污染物的目的。与传统的电晕放电形势产生的低温等离子技术相比较，DBD等离子体技术放电量是电晕放电的50倍，放电密度是电晕放电的130倍。所以，传统低温等离子体技术只能用于室内空气异味治理，与其他低温等离子体技术相比较，DBD等离子体技术是用于工业化工艺废气治理的技术。
　　等离子体去除污染物的基本过程
　　过程一：电子的直接轰击
　　过程二：O原子或臭氧的氧化
　　O2+e→2O
　　过程三：OH自由基的氧化
　　H2O+e→OH+H
　　H2O+O→2OH
　　H+O2→OH+O
　　过程四：分子碎片+氧气的反应
　　低温等离子废气处理设备技术特点：
　　1、技术，工艺简洁：开机后，即自行运转，受工况限制非常少，无需专人操作，除臭率可达99%。
　　2、节能：无机械设备，空气阻力小，耗电量约为0.003kw/m3废气。
　　3、适应工况范围宽：设备启动、停止，随用随开，不受气温的影响。在250℃以下和在雾态工况环境中均可正常运转。-50℃至+50℃的环境温度仍可正常运转。
　　4、设备使用寿命长：本设备由不锈钢材，铜材、钼材、环氧树脂等材料组成，，采用材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了设备腐蚀问题。
　　5、结构简单：只需用电，操作极为简单，无需派专职人员看守，基本不占用人工费。
　　6、无机械设备：故障率低，维修容易。
　　7、应用范围广：介质阻挡放电产生的低温等离子体中，电子能量高，几乎可以将所有的异味气体分子降解。