1、光氧设备利用臭氧的强氧化性，一百八十五纳米的波长紫外线，也叫做真空紫外线，常说的臭氧，它有极强的氧化性，目前光氧设备废气处理用的光解紫外线灯，主要是利于光氧设备紫外线持续和氧结合产生的臭氧来分解有机废气。
　　2、光氧设备利用185nm高能量紫外线来打断分子键，大多数化学物质的分子结合能比光氧设备波长的的能量低，因此污染物质分子键经过光氧设备高能紫外线光能的裂解能被打断，光氧设备波长紫外线是真空紫外线，光氧设备从灯管里出来就和氧结合产生了光氧设备臭氧，光氧设备基本是在灯管表面或附近有少量强度，光氧设备能通过波长紫外线打断分键来处理的，光氧设备有机废气基本是能和光氧设备灯管表面接触或光氧设备灯管近距离的一部分。光化学反应，是打断光氧设备分子键裂解分子结构，同时光氧设备氧化还原反应，光氧设备两种作用其实是同时进行的。
　　3、光氧设备利用254nm波长的紫外线的光催化作用来分解有机废气,光氧设备光触媒在254nm波长的紫外光作用下,光氧设备激发物质表面电子,光氧设备可连续发生能级跃迁,继而光氧设备电子飞出,光氧设备形成具有**氧化能力的空穴和具有**还原能力的电子,光氧设备空穴、电子对与表面和空气中水反应后可产生活性氧和氢氧自由基等活性物质，这些活性物质具有极强的氧化作用,光氧设备不仅能氧化破坏微生物,光氧设备也可将有机化学污染物完全氧化破坏,从而光氧设备起到洁净环境和除臭等作用。光氧设备由于在这种反应过程中光触媒不参与反应,从而使光氧设备反应可反复进行，所以光氧设备光触媒可长期持久地起作用。