中图仪器SJ6000机床用的激光干涉检测仪是一种利用光的干涉原理来测量物体长度、厚度、形状、折射率等参数的仪器。具有测量精度高、量程大、速度快、灵敏度高、抗扰力强等优点。


激光干涉仪集光、机、电、计算机等技术于一体，在计量领域中可作为长度基准以及设备校准工具。可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。广泛应用于数控机床、激光打标/切割、三坐标、影像仪、精密测量、自动化、机器人、3D打印等领域。


性能特点
1. 自动采集数据，避免人为读数误差，精度高；

2. 测量过程全自动化，效率高；

3. 可测量任意方向的回转轴，可测量任意角度间隔，通用性强；

4. 可自动生成误差曲线和补偿数据，根据不同标准自动计算定位精度结果，无需人工计算。


产品功能
SJ6000机床用的激光干涉检测仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

可实现龙门机床双轴同步测量；

可实现对机床回转轴的测量与校准；

可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

支持手动或自动进行环境补偿。



产品配置
机床用的激光干涉检测仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。


技术规格
稳频精度 0.05ppm
动态采集频率 50 kHz
预热时间 ≤ 6分钟
工作温度范围 (0~40)℃
存储温度范围 (-20~70)℃
环境湿度 (0~95)%RH
线性测量距离 (0~80)m (无需远距离线性附件)
线性测量精度 0.5ppm (0~40)℃
角度轴向量程 (0~15)m
角度测量精度 ±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度轴向量程 (0~15)m
平面度测量精度 ±(0.2%R+0.02M2)μm (R为显示值，单位：μm；M为测量距离，单位：m)
直线度轴向量程 短距离(0.1~4.0)m;长距离(1.0~20.0)m
直线度测量精度 短距离±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm长距离±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度轴向量程 短距离(0.1～3.0)m;长距离(1.0～15.0)m
垂直度测量精度 短距离±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;长距离±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m


注意事项：

平面度测量配置需求：平面度镜组＋角度镜组

平行度测量配置需求：依据轴向量程范围，选择相应直线度镜组即可

短垂直度测量(0.1~3.0)m配置需求：短直线度镜组＋垂直度镜组

长垂直度测量(1.0~20.0)m配置需求：长直线度镜组＋垂直度镜组

直线度附件：主要应用于Z轴的直线度测量和垂直度测量