真空控制器651CD2S1N J 600 MKS
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有关应用材料半导体的内容：
CVC 3000真空控制器广泛应用于旋转蒸发仪、真空浓缩仪、干燥箱等设备的真空调控。调控真空可以以缩短工艺时间并提高重复性。
CVC 3000 detect 概述：
CVC 3000 detect是一台即插即用的两点法真空控制器，既有桌面式型号，也有支架式可安装于实验室支架上。它包含带内置陶瓷真空传感器的CVC 3000真空控制器，集成了单向阀的放气阀及耐化学腐蚀的电磁阀，结构非常紧凑，整个控制器安装方便。对于已有真空源如无油真空泵或**的真空网络源，电子控制可以增加过程效率，并大大增加溶剂回收率。在“探测”模式下，控制器可以独立探测到沸腾所需蒸汽压，并切换到两点法真空控制模式。在操作过程中随时可进行手动调节。
CVC 3000 detect 性能特性：
1、独立的蒸汽压探测功能—更节省过程时间
2、结构紧凑，带耐腐蚀真空阀及实验室常用软管接口—即插即用
3、真空测量集成在真空阀块内—直接将CVC 3000 detect连接在泵和真空应用之间
4、内置放气阀—简单的压力平衡或过程结束后的惰性气体放气
5、单向止回阀—共用真空源的平行应用不会相互干扰
VC 10 技术优势
> TFT 大屏幕清晰显示
> 陶瓷材质压力传感器，耐腐蚀
> 智能：40 种常规溶剂数据库
> 防突沸：Vent 放气键
> 多种程序蒸馏
> 定时功能
> 可集成软件，远程控制
> 兼容所有品牌的真空泵和真空系统
> 真空1 - 1100 mbar 可调，精度 1 mbar
Alicat质量流量控制器集成于全球**的真空设备供应商MDC Vacuum Products, LLC公司的XpressStick?系列质量流量控制器气体棒中。能精密控制气体流量上至20SLPM、自带屏幕显示的质量流量控制器使得气体连接模块带有气体编辑程序功能，从而直接将压缩气体通入真空腔体内。
Alicat质量流量控制器的测量与控制量程范围从0-0.5 sccm一直到0-20 slpm，仅需20～50毫秒即可到达设定值流量，****了于真空镀膜过程中的靶材中毒。
一体式设计的XpressStick质量流量控制器气体棒**了原本包括气体混合、压力控制、精密调节、真空腔等复杂的硬件系统，其精密的气体流量控制系统使得用户完成全套真空镀膜过程只需简单的一个步骤。专门设计用于高纯真空应用的XpressStick质量流量控制器气体棒也有适用于腐蚀性气体的不锈钢材质系列。
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