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1900/55-02-01-01-00监测器渠道商介绍:集成电路检测依据工艺所处的环节能够分为设计考证、前道量检测和后道检测。集成电路芯片的消费主要分为IC设计、IC前道制造和IC后道封装测试三大环节,狭义上对集成电路检测的认识集中在封测环节,事实上集成电路检测贯串消费流程的一直,起始于IC设计,在IC制造中继续,终止于对封装后芯片的性能检测,依据检测工艺所处的环节,集成电路检测被分为设计考证、前道量检测和后道检测。
设计考证用于IC设计阶段,主要采用电学检测技术考证样品能否完成预定的设计功用。前道量检测运用于晶圆的加工制造过程,它是一种物理性、功用性的测试,用以检测每一步工艺后产品的加工参数能否到达了设计的请求,并且查看晶圆外表上能否存在影响良率的缺陷,确保将加工产线的良率控制在规则的程度之上。后道检测主要运用于晶圆加工之后、IC封装环节内,是一种电性、功用性的检测,用于检查芯片能否到达性能请求,后道检测又细分为CP测试、FT测试。CP测试确保工艺合格的产品进入封装环节,FT测试确保性能合格的产品*终才干流向市场。
(设计考证和后道检测触及到的检测原理、检测设备相同,其设备实质上属于一类设备,且设计考证所需检测产品数量很少,对应设备需求很小,因而本文主要研讨前道量检测、后道检测工艺及相应设备。)
前、后道检测设备的研发具有很高的技术和资金壁垒,该市场同光刻、刻蚀一样,也呈现出国外巨头高度垄断的情况。前道量检测设备的下游客户是晶圆代工厂,在该范畴内科磊以52%的市场份额稳坐**把交椅,其薄膜厚度丈量、缺陷检测产品具有较高的市占率。后道检测设备下游客户是IC封测企业,其中东京精细在探针台细分市场份额高达60%,泰瑞达与爱德万在检测台市场共具有超越90%的市占率,而爱德万、科休和爱普生的分选机产品具有超越60%的市场份额。目前,检测设备曾经能够与光刻、刻蚀等设备的精度坚持同步开展,该工艺的设备精度也逐步成为限制集成电路产业开展的瓶颈之一。
前道量检测工艺对芯片制造有着至关重要的意义,它是进步产线良率、降低消费本钱的重要环节,在很大水平上决议了代工厂的竞争才能。晶圆代工厂商的成败依赖于产品的良率,良率不达标会显著影响厂商的本钱与收益,据估量产品良率每降低一个百分点,晶圆代工厂商将损失100-800万美圆。而且由于芯片新产品推行的市场窗口很小,加上市场份额的剧烈竞争,客户会优先选择消费良率高,供给才能强的半导体企业停止供货,这也意味着减少产线缺陷将会极大进步企业的竞争实力。因而晶圆厂商会在制造流程中经过前道量检测设备监控加工工艺,确保工艺过程契合既定的请求,并经过定位消费中问题的本源,及时采取修正措施,从而到达减少缺陷、提升产线良率的目的。
后道检测工艺**降低封装本钱,并确保出厂产质量量。CP测试在封装前对芯片停止测试,测试不合格的产品将不会进入封装环节,FT测试则对*终产品停止性能测试,确保出厂产品均到达客户预定功用,同时也可依据产线良率反应的结果,停止消费工艺上的优化。
资讯来源:汕头罗克自动化
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