威固特VGT-15204FST硅片晶圆超声波清洗机 |
型号:VGT-15204FST
产品特点:
1、械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。
2、PLC全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。
3、自动上下料台,准确上卸工件。
4、净化烘干槽,独特的烘干前处理技术,工作干燥无水渍。
5、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。
6、具备抛动清洗功能,保证清洗均匀。
7、全封闭清洗均匀。
8、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。
应用范围:
1、炉前清洗:扩散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻胶。
3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。
5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。
7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。
8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。
9、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。
10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污
技术参数:
超声波功率:10.2KW
超声波频率:28,40,60KHZ
换能器数量:204个
电源电压:220V
技术优势:
硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机**去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。清洗硅片晶圆同时也采用了: 三套独立的电脑控制机械臂自动化作业;第三代**技术,**完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落 ;独特的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕 ;成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身 。
资讯来源:威固特
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2023年广州春季美博会时间、地点
美博会时间2023年3月10-12日
美博会面积30万平方米
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2023年第62届广州美博会
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