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测量工业显微镜物镜磨损更换标准是什么?


发布时间:2025-07-14   资讯类别: 其它资讯   我要发布
在工业检测中,物镜磨损直接影响成像清晰度与尺寸精度,需依据“性能阈值+周期巡检”双指标判定更换时机。
光学性能阈值
• 分辨率:以2000 NA 线对/mm 为下限(GB/T 19864.1-2013)。若USAF1951标板中心三组线条无法分辨,即判失效。
• 粗糙度测量偏差:采用20×物镜对标样(Ra 0.5–2.0 µm)复测,三次平均值与证书值误差>5 % 时停用。
• 亮度衰减:在恒定照明下,中心视场亮度较原始记录下降20 % 以上需更换,防止低对比缺陷漏检。
机械磨损阈值
• 同轴度:激光干涉仪检测物镜转换器重复定位误差,径向跳动>1 µm 即超标。
• 螺纹磨损:用M25×0.75 mm 环规检查,旋合晃动量≥0.05 mm 时报废,避免成像漂移。
周期与记录
每季度执行一次“校准块+标板”综合测试,结果录入维护台账;连续两次测试均未达阈值,则执行更换,确保检测链可追溯。
简言之,当物镜任一光学或机械指标触碰上述阈值,即视为达到强制更换标准,避免质量风险。
https://industrial.evidentscientific.com.cn/zh/metrology/stm/stm7/

资讯来源:https://industrial.evidentscientific.com.cn  


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