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福建真空泵维修，爱德华EPX500L精修，厦门志德品质服务
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爱德华EPX 系列支持清洁和轻 型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点 站应用。 EPX 系列以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX 泵 采用已获专利的独特单轴再生 Holweck 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7 Torr 的极限压力。EPX 泵能够以模块化组件 提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程 安装。此外，通过集成的 MicroTIM 电子模块还可以与制程工具 轻松建立通信连接。而新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了独特的专利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供**的性能，与 IPX 相比，，包装重 |
| 联系人：陈世刚
电话：0592-6515234
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