噪音与振动 ：从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，**振幅在0.1～0.001 m(即100～1 nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动如图5 所示。对涡轮分子泵（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。振动速度V 的单位为 m/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2 f，式中d 为振幅 m，f 为频率Hz，产生的**振幅＜0.005 m（＜5 nm）如此小的振动，涡轮分子泵运转很平稳，噪音很小,对某些特殊应用也是问题。 帕纳光电代理维修销售安捷仑，瓦里安各系列型号分子泵,主要用于医疗行来，全新,二手,及维修备件长期备货,库存充足,可以做到国内销售*便,维修时效**. 国内**一家同时采用德国及日本2-4通道在线高速动平衡调整技术,也是**维修时效**的分子泵维修公司! 广东省**的分子泵销售及专业维修厂家 中山分子泵销售供应 分子泵现货供应 优点 涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了，对于小泵多用油脂润滑轴承，也有用空气轴承的，但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现，使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流，使它真正成为一种清洁的干式高真空泵 气体输送能力强 大多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。

冯超林
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