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产品介绍抽真空系统组成:真空系统管路、扩散泵机组/分子泵机组、预抽前级罗兹泵机组、水冷系统、加热系统、电器保护系统、自动控制系统。产品属性电控技术要求扩散泵机组和罗茨泵机组可进行手动控制和自动控制。罗茨泵机组：1.机械泵与罗茨泵可进行手动和自动控制。2. 机械泵进气口有防返油装置。扩散泵机组/分子泵机组等等：1. 扩散泵排气口有防返油装置。2. 扩散泵排气口安装真空规管，可显示真空度，在真空度过低时保护扩散泵。真空阀可进行手动控制和自动控制，并根据设备当前工作状态防止误操作并报警提示。系统具备自动保护功能和手动操作功能。使用及维护环境温度： 10～40℃；相对湿度：≤75%；电源：三相380V，功率65KW；电压波动范围：±10%；频率： 50Hz；压缩空气： 5-6kgf/cm2 (需滤出水、油)；其他说明设备各电机有独立的过热过流保护功能，以保护设备部件；操作控制面板按钮触摸屏等控制电压均24VDC安全电压；设备工作在真空状态，不存在压力安全问题。 |
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