高真空扩散泵
扩散泵主要泵体、扩散喷嘴、蒸汽导、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等分组成(见图)。当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热,沸腾时喷嘴喷出高速的蒸汽流,热运动的气体分子扩散到蒸汽流中,与定向运动的油蒸汽分子碰撞,气体分子因此而获得动力量,产生和油蒸汽分子运动方向相同的定向流动,到前级,油蒸汽被冷凝,释出气体分子,即被前级泵抽走而达到抽气目的。泵油的蒸气压直接响泵的真空性能,但油扩散泵所使用的任何泵油,都是蒸汽压不同的多组分的混合物。因此,要提高油扩散泵的抽气和真空性能,泵在工作中自身还要对泵油进行分馏和净化。分馏目的是使高蒸汽压组分的油不进入高真空工作喷嘴(高真空端的喷嘴);净化的是使高蒸汽压组分的油在工作过程中不断为前级泵所抽除、使油逐渐于纯净。 |
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