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真空镀膜机回收|深圳真空镀膜机回收
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高真空镀膜机,镀膜机是目前制作真空条件应用*为广泛的设备。其相关组成及各部件:机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统. 下面本人详细介绍各部分的组成及工作原理。
一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用*多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等,腔体由不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。 二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成 排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。 机械泵:也叫前级泵,机械泵是应 |
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