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小型气体流量传感器、微小空气流量传感器、极小流量传感器
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加工定制是品牌昊仪型号HFS4001类型质量流量计测量范围0--1000毫升/分钟（m3/h）精度等级1。0公称通径1。。。12（mm）适用介质气体工作压力0。5（MPa）工作温度-5--55（℃）规格HFS4001HFS4001小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。 产品特点：传感器灵敏度高，有极小的始动流量传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，保证了传感器的高精度计量在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了100:1甚至更高 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据(RS232)，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压零点稳定度高全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性低功耗、低压损响应速度快机械尺 |
| 联系人：徐小姐
电话：020-82452636
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2能防止微尘粒子之产生。
3温度和湿度之控制。
4压力之调节。
5有害气体之排除。
6结构物与隔间之气密性。
7静电之防制。
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洁净室构成
洁净室的构成是由下列各项系统所组成在所组成的系统分子中是缺一不可的，否则将无法构成一完且品质良好的洁净室。
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