石墨半导体 离子注入 等离子蚀刻用石墨制品
离子注入用石墨,细颗粒高密度的石墨呈现出很强的抗腐蚀性,即使是在极其恶劣的工况下(如离子束轰击或等离子体束)也是如此。
由于离子束的原因,金属部件暴露在离子注入设备中会造成高的损耗,故这时应用相应的石墨件来作屏蔽罩。
上海弘竣公司采用德国西格里石墨,不仅能为各种离子注入机提供石墨屏蔽罩,且提供各种规格具有高耐腐蚀性的高纯度石墨电极及离子源。
即使在离子轰击或等离子等极限工作条件下,细粒、高密度石墨也不易受腐蚀。离子轰击设备的金属部件要接触离子束,磨损严重,可使用合适的石墨挡板进行保护。
上海弘竣不仅提供石墨挡板,还提供适用于各种注入机的电极和离子源,这些石墨产品都具有耐腐蚀和纯度高的优点。
为了满足客户的不同需求,我们还可根据客户生产出不同规格的石墨件,全部采用精加工方式,保障了 石墨件的精度要求。 |
生产基地:浙江省嘉善县姚庄镇锦绣大道637号
营销中心:上海市青浦区沪清平公路2008号1501-1503
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