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石墨盘
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宁波弘信采用进口高纯度等静压石墨，为石墨盘基座和载盘精心挑选合适的石墨等级，高精密设备配合成熟的加工工艺，保证了载盘片坑满足尺寸公差及型位公差的同时，又具有均匀过渡的形貌，极大程度避免衬底在外延生长时因载盘导致的各种问题，从而提高外延阶段的良率，保证产品的质量，可依据客户不同的需求规格加工定制。 |
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